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      常见的等离子清洗机真空压力单位,这3个你熟悉吗?

      返回列表 来源:普乐斯 浏览: 发布日期:2022-06-21 13:21【
      文章导读:等离子清洗机的真空度,是影响等离子表面处理效果重要的因素之一。国内品牌的等离子清洗机常用的真空度压力单位基本是帕(Pa),国外还有托(Torr)、巴(bar)等单位,今天我们就来梳理一下常见的几个真空压力单位,供大家参考。
      等离子清洗机的真空度,是影响等离子表面处理效果重要的因素之一。国内品牌的等离子清洗机常用的真空度压力单位基本是帕(Pa),但是不同国外品牌的等离子清洗机就会出现托(Torr)、巴(bar)等单位,相互之间如何换算,有的时候不太容易搞得清楚。今天我们就来梳理一下常见的几个真空压力单位,供大家参考。
      等离子清洗机
      1 等离子清洗机的真空、真空度和压力单位
      等离子清洗机是指真空反应腔室里面低于标准大气压的气体状态,微观上来讲就是腔体内的气体分子密度小于大气压的分子密度,不同的真空状态意味着不同的分子密度。
      真空度反应的是真空状态空间气体的稀薄程度,通常用气体压力值来来表示。真空度越高,压力值越小;真空度越低,压力值越大。
      压力单位反应真空压力值的大小,由于历史和习惯的原因,不同的国家和地区使用的单位有所区别。
      等离子清洗机
      2 等离子清洗机几种常见的真空压力单位和相互之间的换算
      国内外品牌等离子清洗机比较常见的真空压力单位有3个,即帕斯卡(Pa)、托(Torr)、巴(bar),其中后面两个单位欧美系的品牌比较常见。
      2-1、帕斯卡(Pa),简写帕,国际单位制,我国法定压力单位,是为纪念法国物理学家与数学家帕斯卡而命名。换算关系如下:
      1 帕(Pa)= 7.5×10-3托(Torr)=10-2毫巴(mbar)
      2-2 托(Torr),1Torr即1mmHg。Torr 参照国际单位制(简称SI)制订的中华人民共和国法定计量单位规定压强单位为Pa(帕),两种单位之间换算关系为1托=133.322帕。换算关系如下:
      1托(Torr)=133.322帕(Pa)=1.33322毫巴(mbar)
      2-3 巴(bar),非法定计量单位,即1平方厘米的面积上受到100万达因作用力,压强就是1巴,合100000帕。换算关系如下:
      1毫巴(mbar)=7.5×10-1托(Torr)=102帕(Pa)
      等离子清洗机
      3 等离子清洗机真空压度的测量
      用来测量等离子清洗机真空度的仪器是真空计(Vacuum Gauge),又名真空表,其度数反应的是等离子清洗机反应腔室内气压的变化和实时的数值,能否精准测量对等离子表面处理工艺很重要。不同的真空度,等离子体放电状态、等离子密度和特性区别很大。

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